КОНСТРУЮВАННЯ І ХАРАКТЕРИЗАЦІЯ БАГАТОШАРОВИХ ПОВЕРХНЕВО-БАР’ЄРНИХ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВІ ДИФРАКЦІЙНИХ ҐРАТОК ДЛЯ ОПТОЕЛЕКТРОННИХ ПРИЛАДІВ
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2007.3.113995Ключові слова:
оптохімічні сенсори, поляритонні фотодетектори, поверхневий плазмонний резонанс, , хвилеводні модиАнотація
В роботі теоретично та експериментально розглянуто вплив додаткових хвилеводних та покриваючих шарів на чутливість оптоелектронних сенсорів, дія яких базується на явищі поверхневого плазмонного резонансу (ППР). Теоретичні розрахунки базуються на диференціальному формалізмі, в рамках якого були розраховані коефіцієнти пропускання та відбивання багатошарових структур з синусоїдальними періодичними рельєфами. Отримані експериментальні спектральні та кутові залежності коефіцієнтів відбивання узгоджуються з теоретичними розрахунками, що дає можливість створювати сенсорні структури з наперед заданими властивостями.Посилання
R. Petit, (Ed) Electromagnetic Theory of Gratings. Springer-Verlag, Berlin (1980).
Indutnyy I.Z., Romanenko P.F., Stronski A.V., Kostioukevitch S.A., Shepeliavyi P.E., Min’ko V.I., Chalcogenide inorganic resists as holographic recording media // Proc. SPIE. — 1998 — ¹3486, P. 82-87.
Dobrowolski J.A., Ho F.C., Woldorf A., Determination of optical constants of thin film coating materials based on inverse synthesis // Appl.Opt. — 1983 — ¹22, P. 31-3200.
Palik E.D, (Ed.) Handbook of Optical Constants of Solids. — Academic Press, Orlando (Fl.), 1985.
Dmitruk N.L., Klopfleisch M., Mayeva O.I., Mamykin S.V., Venger E.F. and Yastrubchak O.B., Multilayer diffraction gratings Al/GaAs as polaritonic photodetectors // Phys.Stat.Sol.(a) — 2001 — ¹184 P. 165-174.
Woollam J.A., McGahan W.A., and Johs B., Spectroscopic ellipsometry studies of indium tin oxide and other flat panel display multilayer materials // Thin Solid Films. — 1994 — ¹241, P. 44-46.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2007 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.
