DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2009.1.115369

РОЗРОБКА ПЛІВКОВИХ ЕЛЕКТРОДІВ ITO ДЛЯ ОПТОЕЛЕКТРОННИХ ПРИСТРОЇВ

K. Y. Krikun, G. S. Khrypunov, N. A. Kovtun, E. K. Belonogov

Анотація


З метою створення прозорих плівкових електродів, перспективних для використання у сучасних виробах оптоелектроніки, у цій роботі був досліджений вплив сполуки мішені, потужності магнетрона та температури осадження на кристалічну структуру, електричні, оптичні властивості й фактор якості плівок ITO, отриманих методом нереактивного магнетронного розпилення на постійному струмі. Встановлено, що максимальний фактор якості Ф = 4,79∙10-2 Ом-1 спостерігається при розпиленні мішені, яка містить 90 ваг. % In2O3 — 10 ваг. % SnO2, якщо температура осадження становить 300 оC, а питома потужність магнетрона — 0,4 Вт/cм2


Ключові слова


ITO; широкозонный вырожденный полупроводник; магнетрон; коэффициент пропускания; поверхностное электросопротивление; э.д.с. Холла.

Повний текст:

PDF (Русский)

Посилання


Martinez M.A., Gullien C., Gutierrez C., Herrero J., Optimization of CdS-TCO bi-layers for their application as windows in photo-voltaic solar cells // Solar Energy Materials and Solar Cells. — 1996. — Vol. 43, №4. — P. 297-310.

Чопра Ч, Дас С. Тонкопленочные солнечные элементы. — М.: Мир, 1986. — 435 с.

Venkatesan M., Gee S., Mitra U., Indium tin oxide for metallization in microelectronic device // Thin Solid Film. — 1989. — Vol. 170. — P.151-162.

T.J., Wu X., Sheldon P., Rose D.H., Development high-performance transparent conducting oxides and their impaction on the performance CdS/CdTe solar cells Coutts // Proceeding of the 2nd Word Conference on Photovoltaic Solar Energy Conversion. — Vienna (Austrian). — 1999. — P. 720- 724.

JCPDS card N 06-0416.

Moutinho H.R., Hasoon F.S., Abulfotuh F. аnd Kazmerski K., Investigation of polycrystalline CdTe thin films deposited by physical vapor deposition, close-space sublimation, and sputtering // Journal Vacuum Science Technology A. — 1995. — Vol. 13, № 6. — P. 2877-2883.

Данилин Б.С., Получение тонкопленочных слоев с помощью магнетронных систем ионного распыления // Зарубежная электронная техника. — 1978. — Вып.4. — С. 87-104.

Balasubramanian N. and Subramanyam A., Electrical and optical properties of reactive evaporated indium tin oxide (ITO) films-dependence on substrate temperature and tin concentration // J. Phys.D; Appl.Phys. — 1988. — Vol. 22. — P. 206-209.

Balasubramanian N. and Subramanyam A. Effect of substrate temperature on the electrical and optical properties of reactively evaporated indium tin oxide films // Materials Science and Еngineering. — 1988. — B1. — P. 279-281.




Copyright (c) 2009 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)