ВПЛИВ ВМІСТУ КИСНЮ У РОБОЧОМУ ГАЗІ НА ЕЛЕКТРИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ТОНКИХ ПЛІВОК Zn1-x MnxO, ОДЕРЖАНИХ РЕАКТИВНИМ МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЮВАННЯМ

Автор(и)

  • V. V. Khomyak Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича, Україна

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2009.1.115373

Ключові слова:

питомий опір, тонкі плівки Zn1-x Mnx O, ВЧ-магнетронне розпилювання

Анотація

Досліджено вплив процентного співвідношення суміші робочих газів кисню і аргону, температури осадження підкладки і подальшого відпалу на питомий опір плівок Zn1-x Mnx O (0≤x≤0,10), одержаних методом ВЧ-магнетронного розпилювання. Показана можливість цілеспрямованого керування електричними властивостями даних плівок за допомогою зміни технологічних умов вирощування.

Посилання

Жерихин А.Н., Худобенко А.И., Вилльямс Р.Т., Вилкинсон Дж., Усер К.Б., Хионг Г., Воронов В. В.. Лазерное напыление пленок ZnO на кремниевые и сапфировые подложки // Квантовая электроника. — 2003. — Т.33. — С.975-980.

Heo Y.W., Kwon Y.W., Li Y., Pearton S.J., and Norton D.P., Properties of Phosphorus-Doped (Zn, Mg)O Phin Films and Device Structures // J. Elektron. Mater. — 2005. — V.34. — P.409-415.

Mahan C.D., Intrinsic defects in ZnO varistors // J. Appl. Phys. — 1983 – V.54, – P. 3825-3832.

##submission.downloads##

Опубліковано

2009-02-10

Номер

Том 6 № 1 (2009)

Розділ

Технологія виробництва сенсорів

Ліцензія

Авторське право (c) 2009 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Авторське право переходить Видавцю.