Повернутися до подробиць статті
ВПЛИВ ВМІСТУ КИСНЮ У РОБОЧОМУ ГАЗІ НА ЕЛЕКТРИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ТОНКИХ ПЛІВОК Zn1-x MnxO, ОДЕРЖАНИХ РЕАКТИВНИМ МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЮВАННЯМ
Завантажити
Завантажити PDF