ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ПОЛІРУВАННЯ ВХІДНИХ ВІКОН НА ОСНОВІ ОПТИЧНОЇ КЕРАМІКИ KO1, KO12 ДЛЯ ІЧ СЕНСОРІВ - Maslov, V. P.; Sarsembaeva, A. Z. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
В даній роботі на основі еліпсометричних вимірів було оптимізовано технологію механічної обробки полірованих деталей з оптичної кераміки КО1 та КО12. Еліпсометрія — високоефективний безконтактний метод контролю якості оптичних поверхонь, в якому використовують залежність стану поляризації світла від властивостей та параметрів поверхні та поверхневих шарів досліджуваної відбивної системи. Показано, що високопродуктивна технологія алмазного полірування забезпечує досягнення еліпсометричних параметрів на рівні традиційних методів полірування.