ТЕНЗОМЕТРИЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ МІКРОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ ПРИ КРІОГЕННИХ ТЕМПЕРАТУРАХ - Druzhinin, A. A.; Maryamova, I. I.; Kutrakov, O. P.; Pavlovskyy, I. V. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
Для створення сенсорів деформації, працездатних при кріогенних температурах, досліджено тензометричні характеристики легованих бором ниткоподібних кристалів (НК) Si р-типу, закріплених на пружних елементах, виготовлених зі сталі, при фіксованих температурах 4,2, 77 і 300 К. Показано, що термічна деформація, яка виникає внаслідок різниці коефіцієнтів термічного розширення (КТР) кремнію і матеріалу пружного елемента (сталі) при закріпленні кристала на балці, дуже сильно впливає на тензометричні характеристики кристалів кремнію, особливо при кріогенних температурах. Це необхідно враховувати при розробці сенсорів на основі мікрокристалів Si для вимірювання деформацій в конструкціях, виготовлених з різних матеріалів. Показано, що НК Si p-типу з ρ300К=0,010 Ом×см з концентрацією бору поблизу переходу метал-діелектрик з металевого боку з коефіцієнтом тензочутливості К4,2К =–1020 при деформації стиску найбільш придатні для створення сенсорів деформації для кріогенних температур, зокрема для 4,2 К. Для створення сенсорів деформації для температури рідкого азоту найбільш придатні НК p-Si з ρ300К=0,025 Ом×см з коефіцієнтом тензочутливості К77К =263.