ОПТИЧНІ ТА СЕНСОРНІ ВЛАСТИВОСТІ АМОРФНОГО SiO2 З ВПРОВАДЖЕНИМ В ІОННІ ТРЕКИ ДІОКСИДОМ ОЛОВА НА КРЕМНІЇ - Дмитрук, М. Л.; Кондратенко, О. С.; Власукова, Л. О.; Кучинський, П. В. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2013)
Досліджено вплив опромінення швидкими важкими іонами 131Xe на оптичні та адсорбційні властивості пластин SiO2/Sі з впровадженими в нанопори частинками діоксида олова (SnO2). Оптичні константи (n, k) композиту визначено методом багатокутової монохроматичної еліпсометрії (λ = 632.8 нм) як в атмосферному середовищі, так і в парах ацетону. Показано, що впровадження SnO2 в об’єм пористого діоксиду кремнію (SiO2) призводить до змін ефективної діелектричної проникності композитного пористого шару та збільшує чутливість активного елемента сенсора до парів ацетону.