ПОКРАЩЕННЯ ЧУТЛИВОСТІ ДО ВОДНЮ СТРУКТУРИ ОСТРІВКОВА ПЛІВКА ПАЛАДІЮ-КРЕМНІЄВИЙ ДІОД ПРИ КІМНАТНИХ ТЕМПЕРАТУРАХ - Skryshevsky, V. A.; Polischuk, V.; Manilov, A. I.; Gavrilchenko, I. V.; Skryshevsky, R. V. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
Розроблено сенсор водню на основі структури острівкова плівка палладію — кремнієвий діод, використовуючи тонкий (15-75 нм) шар нанопористого кремнію в якості проміжного чутливого шару. Використання термічного осадження палладію в поруватий кремній дозволяє змінювати розмір та морфологію металевих островків в матриці поруватого кремнію. Поведінка газового сенсора при експозиції водню в суміші 200 ppm- 10 % H2 та сухого синтетичного повітря (20 % O2 + 80 % N2) була досліджена шляхом вимірів вольт-амперних характеристик. Діодний струм і чутливість сенсору водню залежать від типу кремнієвої підкладки і товщини поруватого кремнію. Зміна струму від концентрації водню показує лінійну залежність для високої та низької концентрації водню. При кімнатній температурі чутливість сенсора складає приблизно 1 мкA/100 ppm, час відгуку та відновлення знаходиться в межах 1 — 8 хвилин.