ВІЗУАЛЬНИЙ ОПТИЧНИЙ СЕНСОР ВОДНЮ НА ОСНОВІ ПЛІВКИ WO3 І ШАРУ КАТАЛІЗАТОРА - Колбасов, Г. Я.; Волков, С. В.; Краснов, Ю. С.; Фоманюк, С. С. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2012)
Катодне осадження плівки WO3 в імпульсному режимі сприяло зменшенню розміру нанокластерів в структурі плівки і зміщенню максимуму забарвлення при її відновленні з ІЧ-області оптичного спектру у видиму область. Це дозволило підвищити чутливість візуального оптичного сенсора водню з такою плівкою й тонким шаром каталізатора (Pt, або Pd) до 1–2 об.% Н2. Показано, що при використанні дрібнодисперсного шару каталізатора у візуальному сенсорі з планарною структурою SnO2-WO3-Sb2O5-Pd можна зменшити час його забарвлення від 3 хвилин до 1-3 с.