ВИГОТОВЛЕННЯ МОНОДИСПЕРСНИХ КЕРАМІЧНИХ ПОРОШКІВ SiC І Si3N4 З ВИКОРИСТАННЯМ CO2-ЛАЗЕРА - Курмашев, Ш. Д.; Софронков, А. Н.; Бугайова, Т. М.; Лавренова, Т. І.; Дзюба, Н. С. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2012)
Запропоновано процес отримання порошків SiC і Si3N4 з використанням CO2-лазера. Технологія відрізняється тим, що реагентні гази, що використовуються, – силан і аміак (для отримання нітриду кремнію) або етилен (для отримання карбіду кремнію) пропускаються через промінь CO2-лазера. При цьому виходить високочистий, неагломерований, дрібнодисперсний порошок, що містить сферичні частинки однакового розміру (монодисперсний).