ТЕХНОЛОГІЯ ВИГОТОВЛЕННЯ ПОЛІМЕРНОГО МІКРОФЛЮЇДНОГО ПРИСТРОЮ - Bendeberya, G. M.; Muzyka, K. M.; Rozhitskii, M. M. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2008)
У роботі досліджено можливість застосування методу лазерної абляції (ЛА) та термічного спікання при виготовленні полімерних мікрофлюїдних пристроїв. Наведено експериментальні залежності геометричних розмірів поперечного перерізу мікроканалів у матриці з поліметилметакрилату (ПММА) від параметрів лазерного випромінювання і відповідні залежності після спікання. Показано, що при цільовому виборі параметрів лазерного випромінювання та термічного спікання, технологія ЛА дає можливість сформувати в ПММА-пластинах відтворювальні структури, які після герметизації досягають розмірів від 50 до 170 мкм.