СТВОРЕННЯ І ВЛАСТИВОСТІ ЕЛЕКТРИЧНИХ КОНТАКТІВ Al I Au НА ТОНКОПЛІВКОВОМУ Zn1-x Mnx O - Khomyak, V. V. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2009)
Досліджено електричні характеристики контактів металів Au і Al нанесенихна вирощені ВЧ-магнетронним розпилюванням тонкі плівки Zn1-xMnxO. Встановлено, що хімічна обробка поверхні перед металізацією приводить до зменшення питомого контактного опору за рахунок утворення тонкого приповерхневого збагаченого електронами n+- шару, а також за рахунок створення на поверхні більшої густини вакансій кисню.