ОСОБЛИВОСТІ ДЕФОРМАЦІЇ МЕЗАТЕНЗОРЕЗИСТОРІВ МІКРОННИХ РОЗМІРІВ - Gridchin, Victor A.; Chebanov, Michail A. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2010)
Використовуючи техніку кінцево-елементного моделювання, досліджено вплив двогранних кутів в області переходу тензорезистивного шару до контактних площадок на розподіл деформацій у тілі мезатензорезистора. Показано вплив геометричних розмірів мезатензорезисторів на їхню чутливість.