ДОСЛІДЖЕННЯ ВПЛИВУ КОНСТРУКТИВНИХ ДЕФЕКТІВ НА ВЛАСТИВОСТІ КРЕМНІЄВИХ ФОТОЕЛЕКТРИЧНИХ ПЕРЕТВОРЮВАЧІВ - Lukomskyy, D. V.; Lenkov, S. V.; Lepih, J. I.; Mokrizki, V. A.; Monakov, S. V. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
Наведено результати досліджень конструктивних дефектів кремнієвих фотоелектричних перетворювачів методом растрової електронної мікроскопії. Розглянута модель впливу параметрів технологічного процесу формування антивідбиваючого покриття на інформативні параметри якості та надійності кремнієвих фотоелектричних перетворювачів. Отриманні результати можуть бути використані при розробці чи удосконаленні технології виробництва кремнієвих фотоперетворювачів для підвищення їх якості і надійності.