СИСТЕМА АНАЛІЗУ ГАЗІВ НА ОСНОВІ СТРУКТУР ПОРУВАТОГО КРЕМНІЮ - Монастирський, Л. С.; Оленич, І. Б.; Петришин, О. І.; Лозинський, В. М. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2018)
Створено матрицю газочутливих елементів на основі наноструктур поруватого кремнію. Вивчено вплив адсорбції молекул води, аміаку, метану та етанолу на імпеданс сенсорних структур. Встановлено, що електрохімічне осадження нанокластерів паладію та оксиду цинку на поверхню поруватого кремнію забезпечує підвищення чутливості та селективності сенсорів. На основі отриманих сенсорних елементів та використанні інформаційних технологій створено систему ідентифікації газу та визначення його концентрації у повітряній атмосфері. Для ідентифікації газу використано перехресні залежності характеристик сенсорів. Отримані результати розширюють перспективу застосування наноструктур поруватого кремнію у сенсорних пристроях.