ЗАСТОСУВАННЯ СТАТИСТИЧНИХ МЕТОДІВ ДЛЯ АНАЛІЗУ СКЛАДНИХ РЕЛАКСАЦІЙНИХ СПЕКТРІВ – ЯК ЗАСІБ УДОСКОНАЛЕННЯ МЕТОДИКИ DLTS - Ільченко, Володимир Васильович; Ліщук, Ігор Володимирович; Опилат, Віталій Якович; Тищенко, Сергій Володимирович (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2019)
Створено апаратну платформу для підтримки кількох методик, яка дозволяє окрім дослідження параметрів глибокорівневих дефектів (DLTS), одержати температурні залежності форми C-V та I-V-характеристик. Розроблено алгоритми застосування статистичних методів для обробітку експериментальних даних для методики DLTS. Результати тестування програмного продукту засвідчили високу точність декомпозиції складного релаксаційного спектру і високу стійкість до амплітуди шумів.