ФОРМУВАННЯ НАНОПОРИСТИХ ПЛІВОК Al2O3 - Kizjak, A. Yu.; Evtukh, A. A.; Steblova, O. V. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2016)
В даній роботі наведені результати отримання пористих плівок Al2O3 в розчинах щавлевої та ортофосфорної кислот. Були отримані експериментальні зразки пористих плівок Al2O3 з алюмінієвих шарів товщиною менше 2 мкм лише в певному розчині щавлевої кислоти. Отримані пористі плівки Al2O3 мають наступні геометричні параметри: діаметр пор від 20 до 35 нм, відстань між порами від 70 до 150 нм в залежності від напруги анодування. Однак матриця пор плівки Al2O3 є не повністю впорядкованою і області впорядкування спостерігаються лише на невеликих площах.