МЕТОД ТРАФАРЕТНОГО ДРУКУ В ТЕХНОЛОГІЇ ПРИСТРОЇВ НА ПОВЕРХНЕВИХ АКУСТИЧНИХ ХВИЛЯХ - Lepikh, Ya. I.; Snigur, P. O.; Balaban, A. P. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
У роботі описано метод нанесення акустопоглинача на звукопроводи пристроїв на поверхневих акустичних хвилях, що базується на трафаретному друці, який використовується при виготовленні товстоплівкових гібридних інтегральних схем. Наведено структурну схему технологічного процесу нанесення акустопоглинача. Обговорюються особливості окремих операцій. Вказані приклади типового промислового оснащення. Наведено оптимальні режими – гідравлічний тиск, швидкість руху ракеля, кут атаки та інші технологічні режими нанесення та їх зв’язок з фізико-хімічними та технологічними характеристиками акустопоглиначів.