ДОСЛІДЖЕННЯ І РОЗРОБКИ МІКРОСЕНСОРІВ І МІКРОСИСТЕМНОЇ ТЕХНІКИ В ГНЦ РОСІЙСЬКІЙ ФЕДЕРАЦІЇ НПК “ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР” МИЭТ - Shelepin, N. A. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
Представлено основні напрямки і результати розробок мікросенсорів і мікросистем Державного наукового центра Російської Федерації НПК “Технологічний центр” МИЭТ. З використанням базових технологічних процесів і устаткування мікроелектронного виробництва розроблена універсальна технологія об’ємної мікрообробки кремнію і методи її інтеграції з технологією аналого-цифрових ІС. Представлено основні характеристики і конструкції сенсорів механічних величин: тиску, прискорення, сили.