ЛАЗЕРНО-ФОТОІОНІЗАЦІЙНА ТЕХНОЛОГІЯ І НОВА ПРИНЦИПІАЛЬНА СХЕМА УСТАНОВКИ ДЛЯ ВИГОТОВЛЕННЯ ПЛІВОК ОСОБЛИВО ЧИСТОГО СКЛАДУ - Ambrosov, S. V. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
Розроблені нові схеми лазерно-фотоіонізаційної технології контролю та очищення напівпровідникових речовин і виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні. Представлено нову принципіальну схему відповідних установок.