ГАЗОВІ СЕНСОРИ НА ОСНОВІ ОКСИДУ ЦИНКУ (ОГЛЯД) - Bugayova, M. E.; Koval, V. M.; Lashkarev, G. V.; Lazorenko, V. I.; Karpina, V. A.; Khranovskyy, V. D. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
Широкий діапазон використання газових сенсорів, зокрема, в добувній промисловості для знаходження витоку газів, для контролю газових викидів в атмосферу на промислових підприємствах, в житлово-комунальному господарстві, в побутовій техніці робить актуальним огляд. Оскільки раніше не проводився систематизований аналіз газових сенсорів на основі ZnO — ця робота представляє інтерес для розробки хімічних сенсорів газів з високою чутливістю, селективністю, стабільністю на основі оксиду цинку. Найбільш детально розглянуто газовий сенсор резистивного типу на основі тонкоплівкового ZnO, якому притаманний ряд переваг: висока чутливість, низька вартість, малі розміри, проста технологія виготовлення, забезпечення детектування майже всіх газів та парів за низьких концентрацій, концентрація газів, що аналізуються безпосередньо перетворюється в електричний сигнал, що значно спрощує схему вимірювання. В роботі подається таблиця головних характеристик існуючих тонкоплівкових газових сенсорів на базі ZnO, яка надає змогу оцінювати можливості існуючих газових сенсорів на плівках оксиду цинку