ІНЖЕНЕРІЯ ЧУТЛИВИХ ЕЛЕМЕНТІВ СЕНСОРІВ ПАРИ ЕТАНОЛУ, АМІАКУ ТА АЦЕТОНУ НА ОСНОВІ ТОНКИХ ПЛІВОК ZnO:Cu - Капустяник, В. Б.; Турко, Б. І.; Панасюк, М. Р.; Партика, М. В.; Кулик, Б. Я. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2012)
Методом ВЧ-магнетронного розпилення створено тонкі плівки ZnO:Cu з різною концентрацією міді. Досліджено вплив концентрації домішки міді на сенсорні властивості тонких плівок оксиду цинку, такі як чутливість та час відгуку, для аналізу пари етилового спирту, аміаку та ацетону.