ТЕНЗОРЕЗИСТИВНІ СЕНСОРИ ТИСКУ НА ОСНОВІ НИТКОПОДІБНИХ КРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ - Дружинін, А. О.; Мар’ямова, І. Й.; Кутраков, О. П.; Лях-Кагуй, Н. С. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2012)
Проведено комплексні дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних сенсорів тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію, працездатних в умовах кріогенних та високих температур. В основу конструкції сенсора покладено систему мембрана — шток — балка з універсальним тензомодулем, який, завдяки своїй універсальності, дозволив створити тензорезистивні сенсори для вимірювання статичних і динамічних тисків у діапазоні від 100 кПа до 20 МПа, працездатні у широкому діапазоні температур. Розроблена методика закріплення кремнієвих тензорезисторів склоприпоєм С51-1 на пружних елементах з коварового сплаву забезпечує роботу сенсорів тиску в діапазоні температур +20…+350°С. На основі НК кремнію, легованих бором, з питомим опором 0,005–0,006 Ом×см створено сенсори тиску, працездатні за низьких температур у діапазоні –269...+20°С, а на основі НК Si з концентрацією бору поблизу переходу метал діелектрик (ПМД) — високочутливі сенсори тиску рідкого гелію. Створено також різноманітні сенсори тиску для медичної діагностики.