СТРУКТУРНІ ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВОК CDO, ОДЕРЖАНИХ РЕАКТИВНИМ МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЮВАННЯМ - Khomyak, V. V. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2010)
Досліджені структурні, електричні і оптичні властивості плівок оксиду кадмію, отриманих за допомогою магнетронного розпилювання в суміші аргону і кисню, при різних технологічних умовах осадження. Показано можливість контрольовано керувати цими властивостями шляхом зміни умов осадження та проведення ізотермічного відпалу. Встановлено, що даний метод дозволяє отримувати високопровідні прозорі плівки CdO з питомим опором ρ = 3∙10—4 Ом ∙ см і оптичною прозорістю Т ≈ 80 — 90 % .