ПРЕЦИЗІЙНИЙ ІНТЕРФЕРОМЕТРИЧНИЙ АНАЛІЗ ТОВЩИНИ СУБМІКРОННИХ ПОЛИТИХ ПОЛІМЕРНИХ ПЛІВОК - Мєшалкін, А. Ю.; Абашкін, В. Г.; Прісакар, А. М.; Трідух, Г. М.; Андрієш, И. С.; Бєц, Л. П.; Акімова, Е. А. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2012)
У статті розглядається інтерферометричне вимірювання товщини субмікронних полімерних плівок на основі полиепоксипропілкарбазола, отриманих методом поливу на скляну підкладку, яка обертається в центрифузі. Для прецизійного виміру субмікронних товщин запропонована система, що включає мікроінтерферометр МИИ-4 із установленою веб-камерою і з обробкою інтерферрограм за допомогою розробленого програмного забезпечення. Для одержання тонких полімерних плівок різної товщини (від 160 нм до 960 нм) використали різні концентрації розчину полімеру і швидкості обертання підкладки. Показано, що існує лінійна залежність отриманої товщини плівки від концентрації розчину полімеру і незначний вплив швидкості обертання підкладки на товщину плівки.