РОЗРОБКА ПЛІВКОВИХ ЕЛЕКТРОДІВ ITO ДЛЯ ОПТОЕЛЕКТРОННИХ ПРИСТРОЇВ - Krikun, K. Y.; Khrypunov, G. S.; Kovtun, N. A.; Belonogov, E. K. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2009)
З метою створення прозорих плівкових електродів, перспективних для використання у сучасних виробах оптоелектроніки, у цій роботі був досліджений вплив сполуки мішені, потужності магнетрона та температури осадження на кристалічну структуру, електричні, оптичні властивості й фактор якості плівок ITO, отриманих методом нереактивного магнетронного розпилення на постійному струмі. Встановлено, що максимальний фактор якості Ф = 4,79∙10-2 Ом-1 спостерігається при розпиленні мішені, яка містить 90 ваг. % In2O3 — 10 ваг. % SnO2, якщо температура осадження становить 300 оC, а питома потужність магнетрона — 0,4 Вт/cм2