ВПЛИВ ВМІСТУ КИСНЮ У РОБОЧОМУ ГАЗІ НА ЕЛЕКТРИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ТОНКИХ ПЛІВОК Zn1-x MnxO, ОДЕРЖАНИХ РЕАКТИВНИМ МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЮВАННЯМ - Khomyak, V. V. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2009)
Досліджено вплив процентного співвідношення суміші робочих газів кисню і аргону, температури осадження підкладки і подальшого відпалу на питомий опір плівок Zn1-x Mnx O (0≤x≤0,10), одержаних методом ВЧ-магнетронного розпилювання. Показана можливість цілеспрямованого керування електричними властивостями даних плівок за допомогою зміни технологічних умов вирощування.