ФОРМУВАННЯ БАГАТОЕЛЕМЕНТНИХ ІЧ-ФОТОЧУТЛИВИХ МАТРИЦЬ ФОТОПРИЙМАЧІВ, ФОРМАТУ 128Х128 ЕЛЕМЕНТІВ НА ОСНОВІ CdHgTe - Sizov, F. F.; Tsybrii, Z. F.; Vuichyk, M. V.; Bilevych, Ye. O.; Apatskaya, M. V.; Smoliy, Ì. M.; Lysuk, I. O.; Andreeva, K. V.; Michailov, N. N. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2009)
Приведено результати робіт по створенню багатоелементних фотоприймальних пристроїв інфрачервоного діапазону на основі CdHgTe. Запропоновано ряд оригінальних технологічних рішень, з урахуванням механічних та електрофізичних особливостей тонкоплівкового CdHgTe, зокрема: пасивація поверхні епітаксійних плівок CdHgTe, модифікація режимів фотолітографічних процесів, багатошарова металізація та прецизійна гібридизація. За допомогою розробленої технології було сформовано матриці фотоприймачів формату 128х128 елементів.