ДОСЛІДЖЕННЯ НИЗЬКОТЕМПЕРАТУРНИХ ХАРАКТЕРИСТИК ШАРІВ ПОЛІКРЕМНІЮ НА ІЗОЛЯТОРІ ДЛЯ СТВОРЕННЯ СЕНСОРІВ ТЕПЛОВИХ І МЕХАНІЧНИХ ВЕЛИЧИН - Druzhinin, А. A.; Maryamova, І. I.; Kogut, I. Т.; Khoverko, Yu. N. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
Досліджено властивості шарів полікремнію на ізоляторі, нерекристалізованих та після лазерної рекристалізації, легованих бором, в температурному діапазоні 4,2÷300К і в сильних магнітних полях до 14Т. Проводились вимірювання температурної залежності опору нерекристалізованих і рекристалізованих шарів полікремнію з різною концентрацією носіїв від 31017см-3 до 1,71020см-3, п’єзоопору  рекристалізованих  шарів з концентрацією носіїв 4,81018см-3 і 1,71020см-3 в інтервалі температур 4,2-300К, а також магнітоопору всіх досліджуваних зразків при гелієвих температурах. Визначено концентрації носіїв заряду шарів полікремнію на ізоляторі, придатних для створення сенсорів температури і п’єзорезистивних сенсорів механічних величин, працездатних при кріогенних температурах і в сильних магнітних полях.