ВПЛИВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ РЕЖИМІВ НА МОРФОЛОГІЮ ПОВЕРХНІ ПЛІВОК СКЛАДУ SіOx(SnOy) - Korolev, A. N.; Plugotarenko, N. K.; Petrov, V. V.; Nazarova, T. N.; Semenistaya, T. V. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
Проведено аналіз морфології поверхні плівок складу SіOx(SnOy). Показано вплив параметрів дозрівання вихідних плівкоутворюючих розчинів на мікроструктуру та морфологію поверхні. Вивчено процеси формування структури плівок з позиції теорії самоорганізації.