СТРУКТУРНІ ТА ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ШАРІВ ZnSO, ОДЕРЖАНИХ ТЕРМІЧНИМ ОКИСНЕННЯМ ТОНКИХ ПЛІВОК ZnS - Хомяк, В. В. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2018)
Тонкі плівки ZnS, вирощені високочастотним (ВЧ) розпилюванням на c-Al2O3 та Si підкладках при 300°С та проведено їх термічне окислення на повітрі в інтервалі температур від 450°С до 800°С. Проведення відпалу плівок ZnS приводить до утворення як шарів ZnSО з різним вмістом сірки і кисню, так і шарів чистого ZnО, про що свідчать результати XRD аналізу та спектри оптичного пропускання. Для цих плівок із оптичного пропускання була визначена залежність ширини забороненої зони від умов їх термічного окислення на повітрі.