НАНОСИСТЕМИ НА ОСНОВІ ПОРУВАТОГО КРЕМНІЮ ДЛЯ СЕНСОРА ЕТАНОЛУ - Оленич, І. Б.; Монастирський, Л. С. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2022)
Створено сенсорні елементи на основі гібридних плівок, що містять нано-структури поруватого кремнію та відновленого оксиду графену. Зареєстровано зменшення електричного опору та збільшення ємності сенсорних елементів у режимі змінного струму внаслідок адсорбції молекул етанолу. Для оцінки сенсорних властивостей гібридних плівок визначено концентраційні залежності адсорбційної здатності у діапазоні 0–4,5% і досліджено динамічні характеристики сенсорів етанолу на їх основі. Встановлено, що сенсорні плівки з різним співвідношенням наночастинок поруватого кремнію і відновленого оксиду графену мають максимальну чутливість до етанолу у різних діапазонах концентрацій. Керувати функціональними властивостями гібридних плівок можна змінюючи пропорцію їх компонентів. Час реакції сенсорних елементів на зміну концентрації молекул етанолу становить 40–50 с. Отримані результати розширюють перспективу застосування наносистем на основі поруватого кремнію у сенсорних пристроях.