ЧУТЛИВІСТЬ ДО ВОЛОГИ СИЛІКАТНОГО СКЛА І СТВОРЕННЯ НА ЙОГО ОСНОВІ СЕНСОРА - Лепіх, Я. І.; Дойчо, І. К. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2023)
Стаття присвячена дослідженню адсорбції вологи на шпаристе силікатне скло. Розглянуто способи створення і керування параметрами шпаристості скла. Встановлені оптимальні процеси формування розмірів шпарин при яких чутливість до вологості є найвищою. Визначено діапазон робочих температур сенсора, який перевищує за цією характеристикою існуючі аналоги. Наведена структурна схема створеного на шпаристому склі сенсора вологості.