ВИЗНАЧЕННЯ ВПЛИВУ ТЕМПЕРАТУРНОЇ ТА УФ ОБРОБКИ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ДИФЕРЕНЦІЙНИХ ІСПТ ЕЛЕКТРОДІВ - Кукла, О. Л.; Павлюченко, А. С.; Архипова, В. М.; Еррашид, А.; Дзядевич, С. В. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2023)
При використанні біосенсорів на основі іон-селективних польових транзисторів (ІСПТ) виникає необхідність в обробці поверхневого діелектричного шару транзисторів, що може включати нагрівання кристалів ІСПТ у електродній збірці, опромінення їх ультрафіолетовими (УФ) променями, та проведення ряду додаткових хімічних обробок кристалів. Робота присвячена визначенню впливу подібного роду обробок на характеристики транзисторних елементів. Експерименти на ряді як нових, так і вживаних зразків диференційних ІСПТ показали, що УФ-обробка значно впливає на їх характеристики (порогову напругу та різницю струмів каналів). Запропоновано введення попередньої УФ-обробки електродів для стабілізації характеристик ІСПТ та можливості виконання подальших операцій УФ-опромінення при нанесенні на електроди біомембран з фотополімерними властивостями. Визначено границі допустимих температур нагріву ІСПТ електродів різними методами, які не призводить до виходу їх з ладу. Досліджено вплив ряду додаткових хіміко-технологічних обробок на характеристики ІСПТ електродів, а також розглянуто модифікацію ІСПТ-кристалів наночастинками золота та срібла з метою покращення їх здатності до іммобілізації біореагентів.