МОРФОЛОГІЧНІ, ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ТА ЕЛЕКТРОННА БУДОВА ТОНКИХ ПЛІВОК ZnO ДОПОВАНИХ АЛЮМІНІЄМ - Заіка, В. В.; Швачко, Н. К. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2024)
В даній роботі представлені результати досліджень тонких плівок окисі цинку допованих алюмінієм, які отримані методом радіочастотного магнетронного нанесення на скляній підкладці. За допомогою енергодисперсійного рентгенівського аналізу показано, що середній вміст алюмінію в тонких плівках становив 0.2–0.8 at.%. Було показано ріст середнього розміру нанозерен при збільшенні концентрації алюмінію, а також за допомогою мікроскопічних знімків поперечного перерізу було встановлено стовпчастий ріст плівок. Дослідження електронної будови показали перерозподіл інтенсивності в O 1s спектрі після допування алюмінієм. Також були отримані спектри валентної зони, та проведені теоретичні розрахунки в рамках теорії функціоналу густини для кращої інтерпретації отриманих результатів. Методом Таука була визначена ширина забороненої зони яка становила 3.41еВ, тоді як в рамках DFT розрахунків заборонена зона становила 1.25 еВ.