МАЛОГАБАРИТНИЙ СЕЙСМОДАТЧИК НА ОСНОВІ НИТКОПОДІБНИХ КРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ - Druzhinin, A. A.; Kutrakov, O. P.; Koretskyy, R. M. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2016)
Предложенная конструкция сейсмодатчика, принцип действия которого основан на тензорезистивном эффекте в полупроводниках. Рассмотрена возможность применения нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, в качестве чувствительных элементов. Разработанный датчик предназначен для измерения как статических, так и динамических деформаций в диапазоне частот 0-800 Гц. Среди преимуществ данного сейсмодатчика над аналогами является слабая зависимость от магнитного поля, электронного облучения и широкая полоса исследуемых сигналов.