ОСОБЛИВОСТІ МІЖФАЗОВОЇ ВЗАЄМОДІЇ У СТРУКТУРАХ Si-SiO2 - Koman, B. P. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2016)
На основі базових рівнянь нерівноважної термодинаміки та фізики поверхні для твердотілих структур Si–SiO2 розраховані енергетичні параметри міжфазової взаємодії на границі Si/SiO2: міжфазова енергія – γm, та міжфазовий натяг – σm. Досліджено вплив температури та Х – випромінювання на поведінку цих параметрів. З’ясовано, що у діапазоні поглинутих доз Х-опромінення (8·101–102 Гр) відбувається перехід структури у рівноважний стан, що характеризується мінімумом міжфазової енергії. Встановлена кореляція між рівнем механічних напружень в структурі та міжфазовим натягом на межі Si/SiO2.