АКУСТОСТИМУЛЬОВАНА “КВАЗІКАВІТАЦІЯ” ВАКАНСІЙНИХ ДЕФЕКТІВ У НАПІВПРОВІДНИКАХ ПРИ ЇХ ВИСОКОЕНЕРГЕТИЧНОМУ ОПРОМІНЕННІ - Olikh, Ya. M.; Lepikh, Ya. I. (Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 2017)
Стаття присвячена дослідженню фізичних процесів у напівпровідникових структурах під дією високоенергетичного опромінення при імплантації іонів Ar+, N+ і O+ при одночасному опроміненні акустичними хвилями. Виявлено ряд ефектів обумовлених стимуляцією акустичним полем. Дається пояснення мікроструктурним перетворенням дефектно-домішкової структури кристала з позицій подібності процесів, що відбуваються при кавітації у рідинах. Вводиться термін “квазікавітація”, що за аналогією фізично базується на ефекті локальної високої концентрації енергії (тиску, температури і механічних напружень), яка суттєво впливає на процеси в напівпровідниках при іонно-променевій імплантації.