[1]
Druzhinin, A.A., Maryamova, I.I., Kutrakov, O.P. і Pavlovsky, I.V. 2017. МІКРОКРИСТАЛИ КРЕМНІЮ З ВИСОКИМ П’ЄЗООПОРОМ ПРИ КРІОГЕННИХ ТЕМПЕРАТУРАХ ДЛЯ ЗАСТОСУВАННЯ В СЕНСОРАХ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. 1, 1 (Жов 2017), 69–77. DOI:https://doi.org/10.18524/1815-7459.2004.1.111838.