[1]
Druzhinin, A.A., Maryamova, I.I., Kutrakov, O.P. і Pavlovskyy, I.V. 2017. ФІЗИЧНІ ОСНОВИ СТВОРЕННЯ СЕНСОРІВ МЕХАНІЧНИХ ВЕЛИЧИН ДЛЯ НИЗЬКИХ ТЕМПЕРАТУР НА ОСНОВІ МІКРОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. 3, 3 (Жов 2017), 5–13. DOI:https://doi.org/10.18524/1815-7459.2006.3.112460.