[1]
Khomyak, V.V. 2010. СТРУКТУРНІ ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВОК CDO, ОДЕРЖАНИХ РЕАКТИВНИМ МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЮВАННЯМ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. 7, 3 (Чер 2010), 69–73. DOI:https://doi.org/10.18524/1815-7459.2010.3.114581.