[1]
Mokritsky, V.A., Lepikh, Y.I., Kuritsyn, E.M. і Banzak, O.V. 2008. ВПЛИВ ШВИДКИХ ЕЛЕКТРОНІВ НА ВЛАСТИВОСТІ ЕПІТАКСІАЛЬНИХ ШАРІВ КРЕМНІЮ ТА ПАРАМЕТРИ ФОТОРЕЗИСТОРІВ НА ЇХ ОСНОВІ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. 5, 3 (Чер 2008), 34–39. DOI:https://doi.org/10.18524/1815-7459.2008.3.114647.