Мєшалкін, А.Ю., Абашкін, В.Г., Прісакар, А.М., Трідух, Г.М., Андрієш, И.С., Бєц, Л.П. і Акімова, Е.А. 2012. ПРЕЦИЗІЙНИЙ ІНТЕРФЕРОМЕТРИЧНИЙ АНАЛІЗ ТОВЩИНИ СУБМІКРОННИХ ПОЛИТИХ ПОЛІМЕРНИХ ПЛІВОК. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. 9, 3 (Лип 2012). DOI:https://doi.org/10.18524/1815-7459.2012.3.114659.