Druzhinin А.A., Maryamova І.I., Kogut I.Т. і Khoverko, Y.N. 2017. ДОСЛІДЖЕННЯ НИЗЬКОТЕМПЕРАТУРНИХ ХАРАКТЕРИСТИК ШАРІВ ПОЛІКРЕМНІЮ НА ІЗОЛЯТОРІ ДЛЯ СТВОРЕННЯ СЕНСОРІВ ТЕПЛОВИХ І МЕХАНІЧНИХ ВЕЛИЧИН. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. 3, 2 (Груд 2017), 10–15. DOI:https://doi.org/10.18524/1815-7459.2006.2.117519.