Korolev, A.N., Plugotarenko, N.K., Petrov, V.V., Nazarova, T.N. і Semenistaya, T.V. 2017. ВПЛИВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ РЕЖИМІВ НА МОРФОЛОГІЮ ПОВЕРХНІ ПЛІВОК СКЛАДУ SіOx(SnOy). Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. 3, 2 (Груд 2017), 30–34. DOI:https://doi.org/10.18524/1815-7459.2006.2.117610.