[1]
Погребняк, А.Д., Жоллинбеков, Б.Р., Махмуд, А.М., Караша, І.Т., Кірік, Г.В., Ткаченко, Р.Ю. і Плотніков, С.В. 2011. СТРУКТУРА ТА ВЛАСТИВОСТІ НАНОКРИСТАЛІЧНИХ ПОКРИТТІВ З НІТРИДУ ТИТАНУ ОТРИМАНИХ ПРИ ОСАДЖЕННІ ПОКРИТТІВ ДУГОВОГО РОЗРЯДУ І З ВЧ СТИМУЛЯЦІЄЮ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. 8, 4 (Груд 2011), 31–36. DOI:https://doi.org/10.18524/1815-7459.2011.4.119028.