[1]
Вірт, І.С. і Падалка, І.В. 2025. РОЗРОБКА ТА МОДЕЛЮВАННЯ УФ-ФОТОРЕЗИСТИВНОГО МОДУЛЯ НА ОСНОВІ ТОНКОПЛІВКОВОГО ОКСИДУ ЦИНКУ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. 22, 4 (Груд 2025), 15–29. DOI:https://doi.org/10.18524/1815-7459.2025.4.339704.