[1]
Kizjak, A.Y., Evtukh, A.A. і Steblova, O.V. 2016. ФОРМУВАННЯ НАНОПОРИСТИХ ПЛІВОК Al2O3. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. 13, 4 (Груд 2016), 83–92. DOI:https://doi.org/10.18524/1815-7459.2016.4.86662.