Druzhinin, A. A.; Maryamova, I. I.; Kutrakov, O. P.; Pavlovskyy, I. V. ФІЗИЧНІ ОСНОВИ СТВОРЕННЯ СЕНСОРІВ МЕХАНІЧНИХ ВЕЛИЧИН ДЛЯ НИЗЬКИХ ТЕМПЕРАТУР НА ОСНОВІ МІКРОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології 2017, 3, 5-13.