Мєшалкін, А. Ю.; Абашкін, В. Г.; Прісакар, А. М.; Трідух, Г. М.; Андрієш, И. С.; Бєц, Л. П.; Акімова, Е. А. ПРЕЦИЗІЙНИЙ ІНТЕРФЕРОМЕТРИЧНИЙ АНАЛІЗ ТОВЩИНИ СУБМІКРОННИХ ПОЛИТИХ ПОЛІМЕРНИХ ПЛІВОК. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології 2012, 9.